高壓射頻電源常見故障及維修：
故障現象1：打開電源，電源指示燈不亮維修；高壓電源射頻電源無輸出燈不亮維修
故障現象2：電源燈亮了，預熱燈不亮維修；上海大廠電源維修
故障現象3：電源燈亮了，預熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常維修。（正常的功率指針指到220，電流指示0.4）
故障現象4：電源燈亮了，預熱燈亮，輝光不亮；
故障現象5：無功率輸出維修；射頻電源無輸出維修
故障現象6：有功率輸出維修，但是調不大維修，或是調到正常值維修。
故障現象7：無反射功率維修，或反射功率過大維修，射頻功率源壞維修；
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高壓電源維修常見故障如下：
一、輸出電壓偏低
電路輸入電壓過低，會使得電路不正常，如微控制器系統中，負載突然增大，會拉低微控制器供電電壓，造成復位。電源長時間工作在低輸入電壓情況下，電路的壽命也會有極大的影響。輸出電壓過低通常是那些原因造成的呢?
輸入電壓較低或功率不足;
輸出線路過長或過細，造成線損過大;
輸入端的防反接二極管壓降過大;
輸入濾波電感過大。
解決方法：
1)調高電壓或換用更大功率輸入電源;
2)調整布線，增大導線截面積或縮短導線長度，減小內阻;
3)換用導通壓降小的二極管;
4)減小濾波電感值或降低電感的內阻。
二、輸入電壓偏高
輸入電壓過高，非常容易燒毀電路，帶來危害較大，哪些常見原因易造成電壓偏高呢?
輸出端懸空或無負載;
輸出端負載過輕，輕于10%的額定負載;
輸入電壓偏高或干擾電壓。
解決方法：
1)確保輸出端不小于少10%的額定負載，若實際電路工作中會有空載現象，就在輸出端并接一個額定功率10%的假負載;
2)更換一個合理范圍的輸入電壓，存在干擾電壓時要考慮在輸入端并上TVS管或穩壓管。
射頻功率電源維修包括黑色面板和白色面板兩種射頻電源維修，功率包括：1KW、1.5KW、2KW、10KW以及進口刻蝕設備射頻電源維修；PECVD所用的美國AE PEII10K 和 AE PEII 5K等AE射頻電源維修；RF射頻電源維修，燒結爐驅動卡維修；1394電機驅動卡維修;baccini絲網印刷機設備工控主板維修、相機驅動卡維修、恒溫槽維修等光伏設備電子備件維修有豐富的維修經驗。我們的維修具有成功率高、維修速度快，價格優惠等優點，
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