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浙江維修英福康Modul1000檢漏儀常見故障維修公司

發(fā)布者:YX    來源:上海仰光電子科技有限公司     發(fā)布時間:2024-3-15

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檢漏儀檢測開始時出現(xiàn)的故障

1、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)

檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷,按檢漏鍵將沒有反應(yīng)。

2、檢漏鍵無效(指示燈不亮)

I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座,這時氦質(zhì)譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號,而不接受遙控器信號,檢漏鍵無效。

氦質(zhì)譜檢漏儀自動校準結(jié)束時出現(xiàn)的故障

自動校準失敗(燈絲亮)紅色校準燈亮。首先檢查自動校準設(shè)置,開關(guān)S1是否處于OFF位置,所設(shè)置的漏率值和標準漏孔值是否一致。溫度傳感器是否接上;其次是檢查靈敏度,清洗質(zhì)譜室(如果用外部校準漏孔檢查顯示值和實際值一致,氦質(zhì)譜檢漏儀也可使用)。

檢漏儀檢漏時出現(xiàn)的故障

1、不向細檢方式轉(zhuǎn)換,檢漏口壓力<2×10-4MPa:檢查粗檢指示燈是否亮,如果亮,說明氦質(zhì)譜檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關(guān)切換到自動轉(zhuǎn)換狀態(tài)。

2、靈敏度低。檢查三極規(guī)所測壓力,等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時再檢漏;如果壓力達到,檢查離子源是否被污染,清洗離子源。

3、氦本底太高。檢查機械泵油是否失效(泵油長期使用變質(zhì)會吸附較多的氦氣,導(dǎo)致氦污染),檢查儀器系統(tǒng)是否有漏,真空管路是否污染,檢查三極規(guī)上壓力是否達到10-6MPa,離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問題,如果有多臺氦質(zhì)譜檢漏儀,且氦氣的使用量較大,通風不好時,致使氦氣擴散慢,也會導(dǎo)致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處,安裝一個幾升容量的氣瓶,該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣,就大大減少了環(huán)境的氦污染。

4、工裝設(shè)計不合理導(dǎo)致檢漏通不過。初檢時工作正常,工作幾次后,抽速大大減慢,檢漏不過;加死堵氦質(zhì)譜檢漏儀不漏,工作正常。這是因為工裝設(shè)計不合理所致,比如工裝結(jié)構(gòu)不合理,內(nèi)表面太粗糙,導(dǎo)致過多的氦氣殘留;或者密封設(shè)計不合理導(dǎo)致密封不可靠(由于工裝設(shè)計人員對專業(yè)真空設(shè)計不熟悉)。



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