ETD-900離子濺射儀濺射電流不穩(wěn)定故障的解決方法
離子濺射儀常見故障，分以下四種：
1、故障現(xiàn)象：使用一段時(shí)間后，濺射電流變小
解決方法：對(duì)靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進(jìn)行檢查。前兩者對(duì)靶材進(jìn)行更換，后者被油蒸汽污染，通過無水乙醇進(jìn)行清潔，等到干了以后才能夠抽真空。
2、故障現(xiàn)象：在使用一段時(shí)間以后，有著過低的真空。
解決方法：對(duì)濺射室中或管道內(nèi)是否有油進(jìn)行檢查，能夠使用汽油進(jìn)行清洗。
3、故障現(xiàn)象：濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低
解決方法：陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離，將陰極罩逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，對(duì)間距進(jìn)行調(diào)整。
4、故障現(xiàn)象：有著過低的真空
解決方法：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。
轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處：上海仰光電子科技專業(yè)伺服驅(qū)動(dòng)器維修,伺服電機(jī)維修
本文鏈接：http://www.edulz.com.cn/fuwu/Services_Show17681.htm
伺服驅(qū)動(dòng)器維修 伺服電機(jī)維修 觸摸屏維修 變頻器維修
聯(lián)系方式：
電話：021-50157782
手機(jī)：13817011982 微信同號(hào)
郵箱：shygdzi@163.com
聯(lián)系人：張工
網(wǎng)址：http://www.edulz.com.cn
【 我們確保修好測(cè)試好給客戶！！！！】
上一篇：Diener PICO 等離子清洗機(jī)真空泵過載故障排查方法
下一篇：沒有了
